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發布時間:2020-08-01 21:48 瀏覽次數:
去離子水,其單個金屬離子濃度含量為10-6級,等級較差。沸騰蒸餾法因為沸騰時出現了大量的蒸汽霧粒,而每個蒸汽霧粒則由幾百乃至幾百萬個水分子組成,這樣在沸騰過程中,金屬離子或固體微粒就可能夾帶在蒸汽霧粒中進入提純后的液體中去,提純效果十分有限。亞沸蒸餾法一般采用電爐絲加熱的形式加熱液體,控制液體溫度,在液體未達到沸騰的狀態將液體蒸出。由于未達到沸點,與液體平衡的氣相不再由大量蒸汽霧粒組成,基本是以分子狀態與液相平衡。此時蒸汽中極少夾帶進金屬離子或固體微粒。
采用亞沸蒸餾方法去除低沸點溶劑中的金屬離子,可使其金屬離子濃度含量達到10-9級。采用了兩級亞沸蒸餾工藝,可使超凈高純水中的主要金屬離子濃度含量達到了10-10。級以下。
藝采用亞沸蒸餾方法制備超凈高純水。結果顯示液體溫度越高,冷卻水溫度越高,亞沸蒸餾速率越快。液體溫度可以達到沸點。冷卻水流量控制在40L /h左右為宜。并且所制得的超凈高純水中金屬離子濃度含量均低于10-10級,符合制造大規模、超大規模集成電路以及生產超凈高純試劑所要求的技術指標。該套兩級亞沸蒸餾裝置還可用于其它具有揮發性的超凈高純試劑,如鹽酸、硝酸等的提純。實驗證明:亞沸蒸餾工藝是一種去除液體中金屬離子與固體微粒的極為有效的方法。
超凈高純水是微電子工業生產不可缺少的重要基礎材料,它既直接用于超凈高純試劑的生產,又用于包裝容器的超凈清洗,其質量的好壞直接決定著超凈高純試劑產品的質量。同時,超凈高純水又是最純、最廉價的清洗劑。應用于大規模、超大規模集成電路的制造及超凈高純試劑生產的水必須是超凈高純的,其每種金屬離子濃度含量應達到10-9級,以避免其本身所帶雜質對制造生產過程的污染。其具有用量大、技術要求高、儲存有效期短等特點。